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http://140.118.48.162/gjhwang/SC2005-09.pdf
【其他】
PVD / CVD薄膜沈積(Thin Film Deposition)www.tool-tool.com
https://beeway.pixnet.net/blog/post/4741176
職場新人YO~
(本文章由96級 MINSASKY學長提供，文章原載於PTT NTUST-ECE版)
http://ntust-ece.github.io/articles/2015/%E8%81%B7%E5%A0%B4%E6%96%B0%E4%BA%BAYO/
蝕刻
蝕刻製程會移除晶圓表面的特定區域，以沉積其它材料。
https://www.appliedmaterials.com/zh-hant/semiconductor/products/etch/info
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